Технологията за ецване с йонен лъч е ултра-фина технология за обработка, появила се от 70-те години на 20-ти век с разработването на твърди устройства в посока на суб-микронна ширина на линията, която използва ефекта на разпръскване от бомбардиране с йонен лъч върху твърди повърхности, за да оголи необходимата геометрия на обработваното устройство.
В сравнение с машинната обработка, химическата корозия, плазмената корозия, плазменото разпръскване и други процеси, ецването с йонен лъч има следните характеристики:
(1) Той е неселективен към обработените материали и всеки материал, включително проводници, полупроводници и изолатори, може да бъде гравиран.
(2) Има ултра фина способност за обработка. Той е в състояние да ецва много фини шарки на канали, които са в микронния и субмикронния диапазон, и дори може да гравира линии, малки като 0.008 μm.
(3) Офортът има добра насоченост и висока разделителна способност. Неговата проба е насочено бомбардирана от колимиран йонен лъч във вакуум, което е насочено ецване, което може да преодолее неизбежния феномен на пробиване и ецване при химическа мокра обработка, а ръбът на гравирания модел е остър и ясен. С висока резолюция. Точността може да достигне 0.1~0.01μm, а грапавостта на повърхността е по-добра от 0,05μm.
(4) Гъвкава възможност за обработка и добра повторяемост. Тъй като плътността на лъча, енергията, ъгълът на падане, движението или скоростта на въртене на масата на детайла и други работни параметри на йонния лъч могат да бъдат независимо и точно контролирани в доста широк диапазон, лесно е да се получат оптималните условия за обработка за различни проби , който може не само да контролира наклона на страничната стена на линията, но и да контролира дълбочината на жлеба, за да се промени според определена функция (дълбочината на жлеба, която се променя според определена функция, се нарича претегляне на дълбочината).
(5) Недостатъкът на ецването с йонен лъч е, че има феномен на повторно отлагане (ефект на повторно отлагане) на разпръснати материали. Трябва да се обърне внимание на практика.