1. Максимална степен на вакуум на камерата за ецване: По-малко или равно на 9.0×10-5Pa;
2. Материали за ецване: силиций, кварц, III.-V съединения, керамика и различни метали, неметални твърди филми и др.;
3. Скорост на ецване: По-голяма или равна на 10 nm ~ 200 nm / min (в зависимост от конкретния материал за ецване и процес);
4. Източник на йони: кръгъл йонен източник с постоянен ток с диаметър Φ150 mm;
5. Енергиен диапазон на Ar+ йони: 100~1000 eV;
6. Плътност на йонния лъч: 0~1 mA/cm2.